简介： 本发明提供一种薄膜介质介电常数无损反射测量方法，包括：S1，搭建测试平台；所述测试平台包括相连接的矢量网络分析仪和开口波导，以及测试夹具；S2，矢量网络分析仪对校准介质的开口波导反射系数进行测量得到反射系数Γc，并计算校准介质表面的反射系数Gc；S3，矢量网络分析仪对介质基板的开口波导反射系数进行测量得到反射系数Γs，并计算介质基板表面的反射系数Gs；S4，矢量网络分析仪对覆有薄膜介质的介质基板的开口波导反射系数进行测量，得到反射系数Γt；S5，根据反射系数Γc、反射系数Γs、反射系数Γt、反射系数Gs、反射系数Gc，计算薄膜介质表面的反射系数Gt，进而计算薄膜介质介电常数。本发明实现了对薄膜介质无损非接触测量的技术效果且整个测量过程易于实现。