简介:
本发明涉及一种用探针(11)和一个估计单元来无损测量薄层厚度的方法,探针(11)在一个内部铁心上带有一个第一线圈器件(24),该线圈器件的几何中心(22)和至少一个第二线圈器件(31)的几何中心重合,该至少第二线圈器件(31)部分地围绕着第一线圈器件(24);对该估计单元,在用来确定薄层厚度的测量期间发射线圈器件(24、31)的信号,该方法的特征在于提供一个电路(50),通过其在测量期间顺序激励第一和至少第二线圈器件(24、31)。
本发明涉及一种用探针(11)和一个估计单元来无损测量薄层厚度的方法,探针(11)在一个内部铁心上带有一个第一线圈器件(24),该线圈器件的几何中心(22)和至少一个第二线圈器件(31)的几何中心重合,该至少第二线圈器件(31)部分地围绕着第一线圈器件(24);对该估计单元,在用来确定薄层厚度的测量期间发射线圈器件(24、31)的信号,该方法的特征在于提供一个电路(50),通过其在测量期间顺序激励第一和至少第二线圈器件(24、31)。