简介： 本发明提供一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法，具体地，所述制备方法包括：采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ_(A)‑λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ_(B)‑λ曲线；基于第一性原理，得到样品A富硼层主要成分的光学性质，并导出富硼层不同波段对应的折射率和吸光系数曲线、结合椭偏的数值分析，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数、样品A富硼层富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ_(B)‑λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。本发明具有快速、无损、准确测量的特点。