简介： 本发明属于测量技术领域,具体为一种无损伤的测定原子力显微镜探针形态参数的方法。通过用待测探针分别扫描分散状聚苯乙烯微球和密排状聚苯乙烯微球,获取一定参数后,用扫描时探针和微球的几何关系所确定的方程式来计算即可求得待测探针的针尖曲率半径R和锥角Θ。本发明还阐述了微球样品的制备方法。本发明操作简单,花费的成本与时间少,测试精度高,结果可靠。