简介： 本发明公开了一种短波长特征X射线内部应力无损测试装置，包括X射线源及其入射准直器、测角仪、试样架、至少两个探测器及其接收准直器组等；各探测器及其相应的接收准直器均与探测器支架固定连接，各个探测器与接收准直器一一对应，由测角仪驱动各探测器及其相应的接收准直器转动；各探测器的接收口指向对应的接收准直器的出射口，接收准直器的接收口指向衍射仪圆圆心。在使用过程中可以调节接收准直器和探测器的位置，使多个探测器与样品之间具有不同的角度，从而使得各个探测器可以对应样品中不同的衍射晶面，从而实现同时对样品中多个衍射晶面进行测试，提高测试效率。本发明还提供了一种短波长特征X射线内部应力无损测试方法，同样具有上述有益效果。