简介： 本发明公开了一种基于平移差分的微结构线宽显微无损测量方法，解决了显微成像法测量微结构线宽受限于成像衍射极限，测量精度低的问题。首先采集待测微结构的显微图像；接着将微结构沿线宽方向平移一段微小距离，再次采集待测微结构的显微图像；然后将两次采集的显微图像相减得到差分图像；再以高斯函数为目标对差分图像的光强数据进行数据拟合，以高斯函数极值点定位两侧差分脉冲的准确位置；最后根据两侧极值点的精确位置得到高精度的线宽测量结果。本发明的线宽测量方法保留显微成像法直观、快速、无损测量的优点，而且还突破了显微成像衍射极限，同时减少照明不均和成像系统噪声的影响，能够提高线宽测量精度。