简介： 本发明涉及激光技术和纳米技术测量领域,特指一种微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法及装置。其适用于具有界面结合的各类微纳米薄膜、器件与宏观、介观或微观材料相耦合系统,如宏观基体上附着的分子自组装膜、双层分子自组装膜等的光声性能无损定量测试。其将超快短脉冲激光传输到微光机电系统中的膜基耦合试样界面,激发得到微尺度界面波,通过对接收的微尺度界面波耗散特性分析,通过测定界面波耗散特征量定量表征界面粘附质量,实现针对不同的微纳耦合体系定量研究其尺度效应对界面波耗散特性的影响,考察膜基体系厚度方向尺度效应对弹性参数和界面粘附质量的作用规律,从而实现面向微光机电系统的膜基弹性参数和界面耦合质量无损、非接触、定量测试。