简介： 本发明提供的无损方阻及绒面测量装置，属于半导体检测技术领域，包括激光发射器、反射率检测片、电容线圈组、第一放大器板和采样测量装置；激光发射器发射激光至半导体上产生光电压；电容线圈组接收光电压产生的静电荷；反射率检测片接收半导体反射的激光，将光信号转换为电信号；第一放大器板接收静电荷和电信号，并进行预处理得到第一中间数据和反射率检测片接收功率；采样测量装置接收第一中间数据和反射率检测片接收功率，并计算得到待测半导体的方阻值和绒面反射率。本发明在不损伤半导体绒面进行方阻测量的同时实时对绒面反射率进行检测，既规避了现有的方阻测量给绒面带来的损伤，也能实时在线检测绒面的质量，提高了半导体质量检测效率。