晶圆无损测试装置及测试方法
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晶圆无损测试装置及测试方法
来源：北方有色网
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简介： 本发明公开了一种晶圆无损测试装置，包括：可诱导绝缘体‑导体转变探针组；以及设置在与所述可诱导绝缘体‑导体转变探针组的每个可诱导绝缘体‑导体转变探针耦合的绝缘体‑导体转变诱导控制单元。
本发明公开了一种晶圆无损测试装置，包括：可诱导绝缘体‑导体转变探针组；以及设置在与所述可诱导绝缘体‑导体转变探针组的每个可诱导绝缘体‑导体转变探针耦合的绝缘体‑导体转变诱导控制单元。
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标签：无损检测
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