简介： 利用共聚焦激光扫描显微系统对微纳米级介质波导及台阶型结构进行快速无损检测的方法涉及精密加工与测试领域。该方法包括设计了一种共聚焦激光扫描显微系统，在探测器前设置可调针孔光阑；设计了扫描范围可达100微米控制精度可达10纳米的激光扫描器和物距与倾角都可调的载物台，选定405纳米波长激光器；将被测基片放置在载物台上，设定光阑针孔为<1.0艾里单元的某值、选择扫描范围和扫描层厚度后进行扫描并存储数据；重建扫描图，并横跨波导通道测试其侧壁角；计算内多个通道侧壁角平均值和均方根差值，沿着波导通道做多个切面后计算每一个波导通道上所有切割面侧壁角平均值和均方根差值。该方法可用于大规模微纳型结构在生产中的无损在线快速检测。