简介： 本发明属于微球结构器件尺寸参数均匀度的测量技术领域，具体涉及一种无损测量微球直径均匀度的测量装置及方法。本发明的目的是解决微球直径均匀度的测量和标定过程中对微球产生破环性而无法重复使用的问题。本发明包括测试激光器、纳米光纤、待测微球和光电探测器，所述测试激光器与纳米光纤的输入端连接，所述纳米光纤的输出端与光电探测器的输入端连接。本发明微球接触纳米光纤的过程只是点接触，对微球透射率及表面特性没有影响，测量后微球可以继续使用，能够无损测量微球直径均匀度。