简介： 本发明公开了一种对薄层材料进行无损测量的方块电阻测试仪及其测试方法，该测试仪包括红宝石四探针头、测试架、主机、测量控制系统、测试电压调节器和恒流源通断切换开关，主机内包括恒流源电路和电源电路，测试电压调节器设置在电源电路和四探针头之间，用于在测试开始前调节四探针头中两个外探针之间的测试电压。恒流源通断切换开关设置在恒流源电路和四探针头之间，用于控制在探针针尖完全压触在薄层材料表面后才接通恒流源电路。本发明还公开了基于上述测试仪的测试方法。本发明可以调节1、4探针的测试电压，避免发生高压击穿，红宝石四探针头有恰当曲率半径和压力，探针压力可在25-250g的较大范围内变化，能够广泛应用于测量各种新型薄层材料。