简介： 本发明涉及一种测试多层薄膜结构热物理性质的无损电测方法，包括以下步骤：通过实验测试得到微加热器的实际温度变化；根据温度和热流连续性假设求解热扩散方程，结合热散射矩阵，得到微加热器理论温度变化的解析表达式，解析表达式与通入微加热器的交流电流的幅值与频率、多层薄膜结构的各层薄膜厚度、导热系数及体积比热关联；将实验测试中微加热器的相关参数作为已知量以及每一交流电流的频率点下假设的热物理参数，代入解析表达式，计算得到理论温度变化；将实际温度变化和理论温度变化进行拟合，即可提取出各层的热物理性质。本发明避免对样品进行多次磨片、剖光，实现精确快速实时检测多层结构材料各层热物理性质。