简介： 提供一种小型化的无损自动检查系统，能够高效且准确地以无损方式检查主表面的面积大的被检查物的微细缺陷或不合格。具备检查单元，所述检查单元具有：检查线产生部(12)，从点光源对被检查物射出检查线；检查工作台(15)，为了定义被检查物的期望检查点处的检查线倾斜入射的检查角度，所述检查工作台(15)能够搭载被检查物沿着三维正交坐标系平移移动；以及图像传感器(13)，为了拍摄基于以检查角度入射到被检查物并透射过被检查物的检查线而形成的被检查物的图像，而以点光源的位置为极坐标的中心并在该极坐标的中心所定义的球面内，维持拍摄面的法线方向始终朝向点光源的这种取向而移动。