简介： 本发明提供一种无损测量薄膜的探针及测量仪器，包含导电针体、导电弹性针头、固定环、感应收缩簧。感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头一定距离，能够监测到与纳米级厚度薄膜的接触和接触后的应力大小，能够精准地控制再次推进时间，使探针恰好接触薄膜而不损坏薄膜。该探针及测量仪适合对半导体薄膜进行接触式无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。