简介： 一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，涉及石墨烯薄膜方块电阻测试技术领域。探针包括导电针体和导电弹性针头，其中，导电弹性针头与导电针体的一端部连接且导电弹性针头与导电针体之间能够导电，以使导电弹性针头与薄层材料接触时，导电弹性针头能够产生形变以防止破坏薄层材料。无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，适用于对石墨烯薄膜及纳米级薄膜进行方块电阻测试，尤其适合对生长或转移到基底上的石墨烯薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电导检测。