简介： 本发明公开了一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法，该扫描台包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头。