简介： 本发明涉及一种激光无损检测薄膜特性的优化参数确定方法，包括：利用有限元软件ANSYS，建立薄膜衬底结构的双层有限元模型；通过设置单脉冲分段函数在所建模型上实现对短脉冲激光激发超声表面波的模拟；固定激光能量值、脉冲宽度值不变，改变激光聚焦线元宽度的取值，获得表面波信号的最大位移幅值及表面波信号的最大色散频率随线元宽度变化而变化的规律；综合分析表面波信号的幅值和频域随线元宽度变化而变化的规律，确定优化的线元宽度值；固定聚焦的线元宽度为优化的线元宽度值，改变脉冲激光的脉冲宽度得到表面波最大色散频率随着脉冲宽度的变化规律，利用该规律确定出最优的激光脉冲宽度值。