简介： 本发明公开了一种热栅格扫描热波无损薄膜厚度检测方法，本发明沿直线匀速移动所述栅格热源，且栅格热源的移动轨迹平行于薄膜所在平面，并通过热像仪记录薄膜表面温度信号；通过数据处理系统分析步骤二得到的温度信号，拟合出薄膜表面各点温度信号的幅值和相位；针对所测材料的属性，预先标定其幅值和相位随厚度变化的规律；通过对比薄膜表面热波信号的幅值和相位，根据标定好的厚度规律，拟合得到薄膜的厚度及厚度分布。本发明采用空间分布的稳态热波对薄膜厚度进行检测，而不是采用热波瞬态响应信号，因此对热像仪的采样频率要求极低，对信号灵敏度要求也极低。