简介： 本申请公开了一种石英坩埚无损检测装置，包括光源、镇流触发器和盖板，其中，所述光源与所述镇流触发器相连接；所述盖板的形状与石英坩埚的形状相匹配，所述盖板的面积大于或等于所述石英坩埚的开口的面积；所述光源和所述镇流触发器设置于所述盖板的中心部，且所述镇流触发器设置于所述盖板的上表面以上，所述光源设置于所述盖板的下表面以下。利用该装置对石英坩埚进行内部结构缺陷检测时，避免了涂抹显影液等化学试剂带来的杂质污染和效率低下的问题，还能准确的发现石英坩埚中的内部结构缺陷，因此能够使得石英坩埚的检测快速、准确且无污染。