简介： 本发明公开了一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法，利用不同成分的膜层在加速电子轰击下，会激发不同特征X射线的原理，对标块进行加速电子轰击，制定出膜层特征元素与膜厚之间的对应关系标准曲线，然后分析对待测试样进行加速电子轰击后得出的X射线的强度与频率，得到元素的含量，对比标准曲线，计算出膜层厚度。本发明仅采用常见的扫描电子显微镜和能谱仪，无需额外的检测特制辅助设备和配件投入，成本低且操作简单，适用于纳米及微米范围内，无机非金属、高分子和金属各类膜层，同时适用于单层、双层和三层复合膜层的膜厚检测，适用范围广，且不会对样品造成损坏。