简介： 本发明提供一种基于X射线的金属表面渗层厚度无损检测装置及方法，装置包括X射线发生器、X射线检测器、放大器、数据处理存储模块和显示器；方法首先制作具有不同渗层厚度的样件，利用装置计算得到样件的渗层元素含量，并通过扫描电镜方式对样件渗层厚度进行准确测量，建立渗层元素含量与渗层厚度对应数据表；其次采用装置获取待检测试件渗层元素含量，在预先标定好的渗层元素含量与渗层厚度对应数据表中插值解算得到待检测试件渗层厚度。本发明相比于现有渗层检方法，能够在不破坏试件的情况下快速检测得到扩散渗铝层的渗层厚度，可实现产品全检，大幅提高了工作效率。