简介： 本发明公开了一种热栅格扫描热成像无损检测方法，通过热像仪记录栅格热源在薄膜表面形成的稳态热波的温度信号，对薄膜内部的水平和竖直方向的裂纹进行检测；本发明的检测方法，降低了对热像仪采样频率和信号灵敏度的要求，受薄膜表面的各种缺陷干扰少，比如表面颜色、表面元素分布等，对热像仪信号的灵敏度要求低，尤其适用于对可以承受高温的薄膜。