简介： 本发明公开了一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法，包括如下步骤：将样品放置于样品室；将不同能量的正电子分别入射至薄膜发生湮没并分别搜集湮没产生的伽马射线能谱；根据伽马能谱计算正电子湮没参数；根据正电子湮没参数与入射正电子能量的关系，可拟合计算薄膜厚度。本发明运用正电子湮没手段，根据不同能量的正电子在薄膜不同深度湮没所得到的参数，可定量分析复合膜表面层的厚度，此方法可不破坏样品，属于无损检测。