简介： 本发明公开了一种提高太赫兹波无损检测分辨率的系统及方法，属于检测技术领域通过在太赫兹波聚焦元件后加入光学元件将准直高斯波束生成准零阶贝塞尔波束来实现太赫兹波成像中较长景深和较高的分辨率；并采用共聚焦技术来满足大的动态范围和较高的信噪比，系统包括太赫兹波发射端、太赫兹波接收端，以及用于测量太赫兹波发射端、太赫兹波接收端与探测区域距离的激光位移传感器，太赫兹波发射端和太赫兹波接收端中的太赫兹波的方向相异；太赫兹波发射端将太赫兹波投射到探测区域，太赫兹波接收端从探测区域接收太赫兹波；太赫兹波发射端和太赫兹波接收端均包括用于太赫兹波聚焦的聚焦元件以及用于生成准零阶贝塞尔波束的光学元件。