简介： 本发明涉及一种用椭圆偏振光谱仪无损检测金属衬底氧化变性的方法，所述方法使用“金属衬底‑目标氧化物”光谱作为目标光谱，使用“金属衬底‑金属氧化界面‑目标氧化物”光谱作为参考光谱，通过拟合及对比能够快速判断出金属氧化界面的存在，并进一步分析其成分及厚度等信息，与此同时获得目标氧化物的厚度及光学常数。本方法测量精度高、对样品无损伤、对薄膜材料具有普适性。