简介： 本发明公开了一种基于FDTD的材料微观缺陷太赫兹无损检测仿真方法，解决在太赫兹波段检测时微观缺陷无法被精确的识别，以及在针对微观缺陷检测时没有准确的微观缺陷模型的时序特征波形对照标准的问题。包括以下步骤：获取实际检测的太赫兹光源并对太赫兹光源进行信号处理；对于色散介质及非色散介质光学参数的优化拟合；建立多参数微观缺陷仿真模型样本库，对微观缺陷进行电磁场仿真，构建多参数特征波形；太赫兹波段检测微观缺陷仿真模型进行反演，判定微观缺陷的存在情况，进而完成标定微观缺陷的微观厚度。