简介： 本发明涉及一种声表面波无损检测系统，用以测量测试样片的薄膜特性，包括波形发生器、多个声表面波叉指换能器、压电传感器和计算机。由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器包括一个叉指电极，用以在待测样片上产生单频声表面波；压电传感器用以在待测样片上拾取声表面波的信号，通过对采集到的信号进行处理，从而获得相应频率下声表面波的波速，更换可产生不同频率的声表面波叉指换能器，即可获得该待测样片的声表面波频散曲线，通过将实验频散曲线和理论频散曲线进行匹配即可完成对薄膜特性的无损检测。