简介： 本发明公开了一种无损检测高精度元件缺陷的方法，包括：搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器的光路，该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件；将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间，对待检测高精度元件进行相位衬度成像，获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号，从而对其缺陷进行检测。采用本发明公开的方法，可以快速高效地检测高精度元件的微小缺陷，适用于非透明物体。