简介： 本发明涉及一种利用数字剪切散斑干涉进行无损检测的方法及其装置,其特征在于将激光束扩束后照射在待测样品的表面上,以线阵CCD扫描得到两束散射光形成的待测样品表面的两个错开的散斑像H1,对待测样品抽真空另一幅图像H2,对抽真空前后的两幅图像H1和H2进行相关运算,得到图像H3;对图像H3采用均值滤波法或中值滤波法进行滤波,当图像H4中出现蝴蝶斑形状的干涉条纹时证明待测样品出现损伤,否则证明待测样品无损。利用线阵CCD推扫方法,可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道,沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象,从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。