简介： 一种对衬底的多层膜表面的颗粒尺寸进行无损检测的方法,提供表面具有多层膜结构的待测衬底,检测附着于衬底的多层膜表面的颗粒的几何尺寸。采用标准测试颗粒对应分布于与待测衬底具有相同多层膜结构的测试衬底的多层膜表面,建立标准颗粒的散射光强的高斯峰宽度与相应的实际几何尺寸之间的转换关系,作为测定表面颗粒尺寸的依据。本发明的优点在于,由于高斯峰宽度与几何尺寸之间的转换关系是基于多层膜表面建立的,再用于测定先通的多层膜表面颗粒尺寸,因此可以排除多层膜表面由于多次反射对散射光造成的干扰,提高测试的可靠性。