简介： 本发明公开了一种投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置及方法，所述装置包括闪光光源、红外热像仪、信号同步装置、被检测件和计算机，信号同步装置分别与闪光光源和计算机连接，红外热像仪分别与计算机和信号同步装置连接，被检测件垂直放置在红外热像仪和闪光光源之间，并与红外热像仪的镜头平行。所述方法利用脉冲加热激励时多层薄膜中有缺陷部分热流受阻、无缺陷部分热流顺利通过造成的表面温度不同的现象识别出缺陷的部位和尺寸。本发明具有快速、无损、实时、检测成本低的特点，将其应用于微电子、微电子机械等信息电子制造领域，可以使制造成本、测试成本大幅降低，质量得以提高，具有广阔的应用前景。