简介： 本发明公开了一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法。1)确定太赫兹探头与被测件的相对位置及测量参数；2)测量、记录被测件太赫兹时域光谱波形；3)在被测件表面制备50～400μm厚的热障涂层；4)根据第2步的测量位置及参数测量记录被测件太赫兹时域波形；5)计算制备态热障涂层厚度；6)热障涂层使用减薄后，继续采用第2步的测量位置及参数测量、记录被测件太赫兹时域波形，计算热障涂层残余厚度。本发明克服了传统测量方法需破坏工件、检测结果片面、过程复杂、检测精度低、需要耦合剂等问题。本发明具有检测对象广泛，简便实用、无损、非接触、检测精度高的特点，还可以跟踪热障涂层使用后厚度减薄情况。