简介： 本发明涉及一种电子束无损显微分层内窥透视多层结构集成电路检测仪，包括由电子枪、射线校正线圈、第一聚光镜，第二聚光镜、物镜、物镜光栏、偏转线圈、二次电子探头、背散射电子探头等所组成的专用扫描电子显微镜，所述的检测仪还包括分层透表仪。本发明的优点一是该检测设备具有能无损显微分层内窥透视多层结构IC（集成电路）和SM(半导体）的分层功能；二是能够透过表面绝缘层无损显微内窥透视IC和SM的透表功能。