简介： 本发明涉及一种用于晶体材料(包括单晶材料和多晶材料)或含有原子沿一维空间排列有序的材料(如纤维增强的复合材料)工件内部缺陷的X射线衍射扫描无损检测方法和装置,尤其是适用于较低原子序数原子构成的材料工件内部缺陷的检测。它通过无损检测得到的被测工件内部各部位物质的衍射强度分布图,无损检测分析被测工件内部缺陷、缺陷类型及其分布。采用容易获得的可工业化实用的重金属阳极靶的X射线管辐射,也能快捷、无损检测厚度达数拾毫米厚的铝、镁工件内部缺陷及其缺陷类型,且空间分辨率优于现有的X射线探伤机、X射线CT。