简介:
适于材料科学和光电子学领域的透明材料无损检测的光散射层析术(简称LST法)及其装置,用高亮度的激光束(如调Q—YAG的SHG激光束)作入射光源,利用Tyndall现象,为透明材料的无损检测提供更高精度更为方便而适用的观察方法和检测技术。本技术对被测样品是无损的,并且被测样品的尺寸不受限制,制样也非常简单,同时,它能提供缺陷的三维分布的直接形貌图。
适于材料科学和光电子学领域的透明材料无损检测的光散射层析术(简称LST法)及其装置,用高亮度的激光束(如调Q—YAG的SHG激光束)作入射光源,利用Tyndall现象,为透明材料的无损检测提供更高精度更为方便而适用的观察方法和检测技术。本技术对被测样品是无损的,并且被测样品的尺寸不受限制,制样也非常简单,同时,它能提供缺陷的三维分布的直接形貌图。