简介： 本发明公开了一种光学玻璃抛光亚表面损伤无损检测方法：先制备无损基底，再确定椭偏检测入射角；将无损基底定义为衬底-环境结构，使用标准电介质函数作为其材料物理模型，根据椭偏检测入射角下测得的椭偏参数，计算出无损基底的光学常数；将试样的亚表面损伤层定义为包括空气、表面粗糙层、再沉积层和衬底的多层膜光学模型；在多层膜光学模型基础上采用混合材料有效介质模型建立多层膜材料物理模型，测量试样的表面粗糙度、表面沉积物质沿深度分布规律，并使用无损基底光学常数；最后根据椭偏检测入射角下测得的试样椭偏参数，利用回归算法进行反演运算，获得亚表面损伤层的深度值。本发明的检测方法准确可靠，快速高效，且灵活可控。