简介： 本发明公开了一种用于检测芯片内部微纳磁特征信息的无损检测系统及方法，属于芯片无损检测技术领域，所述系统包括：联合振移装置、高磁导率探针、电压放大器、锁相放大器、处理器。所述方法包括以下步骤：对待测芯片进行通电；利用联合振移装置驱动高磁导率探针并使其振动；利用高磁导率探针采集芯片内部磁信息，并通过锁相放大器传输给处理器；电流成像并对比芯片电路原理图评测缺陷；将检测结果可视化。本发明检测芯片内部微纳磁特征信息无损检测技术是采集芯片内部微弱电流产生的磁场信息反演芯片内部电流图像进行处理，无损检测过程具有高精度、高实用性的优点。