简介： 本发明公开一种钙钛矿太阳能电池的镀膜前监测设备，包括基座、清洗风刀装置、图像采集装置和控制装置；基座的台面设有用于输送TCO基片的传输带；清洗风道装置安装于基座，并悬设于传输带上方；清洗风道装置用于清洗并吹干TCO基片；图像采集装置安装于基座，并悬设于传输带上方；图像采集装置用于采集经过清洗风刀装置清洗和吹干的TCO基片的图像；控制装置用于接收图像采集装置采集的图片，并比对预设的TCO基片模板尺寸，以监测TCO基片是否有漏刻和/或划线偏移情况。上述镀膜前监测设备能够监测TCO基片的P1划线质量，在镀膜前筛选出P1划线划线质量差的TCO基片免于进行镀膜，提高镀膜工艺的良品率。本发明还提供用于上述镀膜前监测设备的镀膜前监测方法。