简介： 本发明公开了一种硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法及测试装置，涉及材料、新能源领域。测试方法包括将硅基材料和反应溶液先后放入密闭反应器中，通过压力传感器监测密闭反应器中气体的压力变化，根据密闭反应器内腔的容积、温度和气体压力变化，利用气态方程得到气体摩尔数，进而根据硅基材料和反应溶液的化学反应方程式得到反应消耗的未氧化的硅含量，随后根据硅基材料初始质量得到完全氧化的硅含量，根据硅基材料的化学式得到其氧含量，进而得到硅基材料的硅氧比例。本发明利用气体压力与硅基材料成分敏感的特性，实现了低成本、高精度的硅基材料中硅、氧含量测试。