磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法
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磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法
来源:北方有色网
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简介: 一种制备纳米多孔金属薄膜的方法,通过磁控溅射工艺制备。本发明的方法制作工艺简单,并可以常温下制备出纳米多孔金属薄膜;所制备的多孔金属薄膜具有超薄、比表面积大、活性高、膜层均匀、易于微器件集成等特点,可以应用于催化、新能源领域,并可以直接作为超级电容器材料制备微型电容电极。
一种制备纳米多孔金属薄膜的方法,通过磁控溅射工艺制备。本发明的方法制作工艺简单,并可以常温下制备出纳米多孔金属薄膜;所制备的多孔金属薄膜具有超薄、比表面积大、活性高、膜层均匀、易于微器件集成等特点,可以应用于催化、新能源领域,并可以直接作为超级电容器材料制备微型电容电极。
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