简介： 本发明公开了一种具有复合电极层的异质结太阳能电池及其制备方法，属于新能源领域，包括以n型或p型单晶硅c‑Si为衬底，在上表面依次沉积本征非晶硅层、n型非晶硅层和上电极层；在下表面依次沉积本征非晶硅层、p型非晶硅层和下电极层，所述下电极层从上到下依次包括TCO层、金属膜层和含硅薄膜层。本发明的有益效果是：通过在背面开发出包括TCO层、金属膜层和含硅薄膜层的复合电极层替代原有单层ITO层，达到或者超过原来单层ITO材料的性能提升效率，并能极大降低成本，成功制作出低铟异质结电池。