简介： 本发明实施例公开了一种用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备，涉及新能源技术领域，能够克服在传统湿法制造工艺中的缺陷，以便于推进量子点产业化和大规模应用。本发明包括：将样品(2)放入石英腔体(26)内，启动真空泵(24)对石英腔体(26)抽真空，向石英腔体(26)输入‑SeH有机物气体作为‑SeH等离子气体源，启动激光加工头(1)扫描样品(2)的表面，向石英腔体(26)输入驱体气体，并启动激光加工头(1)扫描样品(2)的表面进行加热，向石英腔体(26)输入Se源前驱体，启动激光加工头(1)加热样品(2)的表面，使表面吸附的源前驱体与输入的Se源前驱体发生化学反应，生成量子点阵列。本发明适用于硒化物量子点制造。