简介： 本发明涉及薄膜技术和太阳能技术等新能源开发技术领域，特指一种太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。本发明采用双层AlN作为减反射层，采用单层Si作为膜系的吸收层，采用铝板作为膜系的基体，其中基体采用MEMS工艺方法处理成具有微坑结构的形状；为了使膜与基体结合良好和提高红外反射，首先在基体上镀一层铝膜，该膜系从顶层至底层依次为：双层AlN膜减反射层、单层Si吸收层、单层铝膜红外反射层。本发明具有“制备工艺简单，吸收率/发射率高”的优点；基体表面所形成的微坑结构可实现对太阳光的多次反射以增加光吸收；双层AlN膜可有力地减少膜表面对太阳光可见光的反射。