简介： 本发明属于光电材料新能源领域,特别涉及TiO2/WO3复合薄膜的制备方法。首先使用双极脉冲磁控溅射在基底上溅射TiO2薄膜,然后在溅射好的TiO2薄膜上二次沉积WO3薄膜,将获得的复合薄膜进行退火处理即得TiO2/WO3复合薄膜。本发明采用双极脉冲磁控溅射法,制备灵活、可控性好,有望在工业中形成规模化生产。