简介： 本发明公开了属于新能源中薄膜太阳能电池及光电器件材料技术领域的具有光伏和光电导效应的掺铁碳薄膜材料及其制备方法。在n型Si基片上依次设有氧化铝层和掺杂铁的碳层,形成具有光伏和光电导效应的掺铁碳薄膜材料。该材料具有性能优越,价格低廉,是一种优异的可见光传感器材料和具有潜力的光伏器件。采用激光脉冲沉积方法制备该薄膜,在制备过程中,不使用任何有毒易燃易爆物质。这种光电薄膜在室温,100mW/cm2(AM?1.5)的模拟太阳光源照射下,器件的开路电压达到436mV、短路电流为14mA/cm2、填充因子在33%以上。同时,当测试电压为1V左右的条件时,薄膜的光电导变化可以达到400倍以上。