简介： 本发明涉及一种薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,属于光电功能材料和新能源技术领域。其特征在于,采用真空磁控溅射法制备铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒吸收层,直接使用铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒合金靶材,由靶材成分控制吸收层成分,由溅射工艺控制成膜质量。磁控溅射法制备的吸收层随后还可在保护气氛中进行退火处理,以进一步改善结晶质量。本发明制备的吸收层由均一的铜铟硒相或铜铟镓硒相或铜铟铝硒相构成,成分分布均匀,并且与靶材成分一致。本发明工艺简便,易于控制,沉积时基体温度较低,可选择衬底种类多,适于工业化生产。