简介： 本发明公开了一种新能源电池超燥工艺，包括一次抽真空、预干燥处理、二次抽真空、深度干燥处理、循环工作模式、最终抽真空。利用氦气的渗透能力强的物理化学特性，将氦气加热到一定温度，热能快速均匀地传导至腔室内各位置，再配合超低真空度从而达到工件水分干燥的作用，采用循环工作模式，降低水分含量、提高干燥效果，同时，采用氦气循环加热，热量传导快且均匀、提高干燥效率。