上下分体直拉单晶坩埚
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上下分体直拉单晶坩埚
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简介: 本实用新型提出一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。本实用新型通过将坩埚分成坩埚壁和坩埚底上下两部分,有效减小了过渡部分“R”部的应力,避免了单晶炉在单晶硅生长过程中的,石墨坩埚开裂的现象,从而有效的提高了坩埚的寿命。同时,由于上下部分采用不同的材料,有效减少碳碳复合材料的使用,节约了成本。?
本实用新型提出一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。本实用新型通过将坩埚分成坩埚壁和坩埚底上下两部分,有效减小了过渡部分“R”部的应力,避免了单晶炉在单晶硅生长过程中的,石墨坩埚开裂的现象,从而有效的提高了坩埚的寿命。同时,由于上下部分采用不同的材料,有效减少碳碳复合材料的使用,节约了成本。?
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标签:复合材料
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