CVD反应炉过滤装置
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CVD反应炉过滤装置
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简介: 本实用新型提供一种CVD反应炉过滤装置,涉及复合材料制备的技术领域,包括沉积桶,所述沉积桶的出气管连接有过滤机构,所述过滤机构包括壳体,所述壳体底部从下到上依次设有阻隔板和转盘,所述壳体顶部设有通板,所述阻隔板与所述通板之间形成过滤腔,所述转盘设于所述过滤腔内,所述转盘上连接有转筒,所述沉积桶的出气管伸入至转筒内;所述过滤腔内还设有引流筒,所述引流筒设于所述转筒内,所述引流筒的顶部与所述通板连接,所述通板上设有通孔,以使所述引流筒与所述过滤腔连通,所述引流筒的底部伸出所述转盘和所述阻隔板,所述壳体底部还设有引风机,所述引风机的进气管与所述引流筒的底部连接。
本实用新型提供一种CVD反应炉过滤装置,涉及复合材料制备的技术领域,包括沉积桶,所述沉积桶的出气管连接有过滤机构,所述过滤机构包括壳体,所述壳体底部从下到上依次设有阻隔板和转盘,所述壳体顶部设有通板,所述阻隔板与所述通板之间形成过滤腔,所述转盘设于所述过滤腔内,所述转盘上连接有转筒,所述沉积桶的出气管伸入至转筒内;所述过滤腔内还设有引流筒,所述引流筒设于所述转筒内,所述引流筒的顶部与所述通板连接,所述通板上设有通孔,以使所述引流筒与所述过滤腔连通,所述引流筒的底部伸出所述转盘和所述阻隔板,所述壳体底部还设有引风机,所述引风机的进气管与所述引流筒的底部连接。
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标签:复合材料
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